微型真空泵是一種小型化和高效率的真空抽氣設備，其工作原理主要涉及動態(tài)密封和氣體分子的運動。
微型真空泵通常由電機、葉輪、靜葉片、動葉片和內部腔體等部分組成。
1. 電機驅動：電機通過連桿傳動或直接連接，將動力傳遞給葉輪，使其旋轉。
2. 動葉片和靜葉片：葉輪上有多個動葉片和靜葉片，它們之間形成了密封腔。在旋轉過程中，動葉片在離心力的作用下向外伸展，與靜葉片形成氣密密封。
3. 氣體抽入：當葉輪旋轉時，腔體內部由于離心力的作用，壓力下降，形成真空。氣體沿著進氣口進入腔體，然后被葉片密封，并隨著葉輪的旋轉逐漸被排出。
4. 泵出：在真空狀態(tài)下，葉片的旋轉將氣體從進氣口轉移到泵出口。在這個過程中，氣體被壓縮和排出。
5. 防回流：真空泵通常會配備非回流裝置，以防止被抽出的氣體倒流回系統。
總之，微型真空泵利用旋轉葉片的動態(tài)密封和離心力的作用，通過連續(xù)抽氣和排氣的過程來實現氣體的抽出和排除，從而形成真空狀態(tài)或降低氣體壓力。這種工作原理使得微型真空泵適用于許多領域，如儀器設備、醫(yī)療、半導體制造等。
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