金融界2023年11月28日消息，據(jù)國家知識產(chǎn)權(quán)局公告，隆基綠能科技股份有限公司取得一項名為“一種單晶爐真空系統(tǒng)及晶體直拉生長設備”，授權(quán)公告號CN220099268U，申請日期為2023年4月。

專利摘要顯示，本申請?zhí)峁┝艘环N單晶爐真空系統(tǒng)及晶體直拉生長設備，其中，單晶爐真空系統(tǒng)包括排氣管組、過濾裝置及真空泵裝置；所述排氣管組的一端與單晶爐的爐底連通；所述排氣管組的另一端與所述過濾裝置的進氣口連通；所述真空泵裝置與所述過濾裝置的出氣口通過真空管道連通；所述真空泵裝置包括多個真空泵，所述多個真空泵通過真空管道串聯(lián)或并聯(lián)。本申請將多個真空泵通過真空管道串聯(lián)或并聯(lián)方式組成真空泵裝置，可以在不改變真空泵性能的情況下，提升真空泵裝置的抽真空性能，實現(xiàn)低爐壓效果，有效降低晶棒的電阻率衰減速率。